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碳化硅涂层 石墨盘 外延托盘 碳化钽涂层 浙江六方碳素科技有限公司

浙江六方碳素科技有限公司致力于半导体新材料的研发,聚焦于碳化硅涂层技术在半导体产业中的应用。公司主要产品包括SiC、TaC涂层石墨托盘及其他部件,目前已经广泛应用于LED、SiC、GaN、单晶硅等芯片外延领域。

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